Das Ziel der OptoTemp GmbH ist die Bereitstellung einer Technologie zur Herstellung neuartiger Aluminiumnitrid (AlN)/Saphir-Substrate für LEDs, Wellenleiterstrukturen im blauen und UV-Spektralbereich. Weitere mögliche Anwendungen der hochwertigen AIN-Schichten sind piezoelektrische Energiewandler (SAW/BAW) und leistungselektronische Bauteile.
Auf modernsten Anlagen werden reproduzierbare Prozesse auf 200 mm Wafern zur Verfügung gestellt, um den zukünftigen Bedarf der stark wachsenden Halbleiter-Industrie zu decken.
Die AIN/Saphir-Substrate zeichnen sich besonders durch niedrige Defektdichten und hohe optische Qualität bei gleichzeitig niedriger AlN-Schichtdicke aus und können somit Substrate ersetzen, die bisher mit deutlich komplexeren Prozessketten hergestellt wurden. Zusätzlich zur herkömmlichen polaren (c-Plane) Ausrichtung, ermöglicht der neuartige Prozess die Herstellung von nicht-polaren (zum Beispiel a-Plane) Substraten.
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Team:
M.Sc. Lukas Peters
M.Sc. Christoph Margenfeld